Produktu pārskats
Šī 8-collu ICP kodināšanas sistēma ir masveida-ražošanas-ierīce vidējiem/maziem IC modeļiem un specializētiem procesiem. Tam ir augstas-stabilitātes ICP avots, precīza vakuuma pārnešana un slēgtas-cilpas vadība, kas nodrošina īpaši{11}}precīzu silīcija, metālu un dielektriķu kodināšanu. Atbilst 8 collu standartiem, tas atbalsta 0,11 μm+ mezglus un pielāgojas īpašai pusvadītāju apstrādei, balansēšanas efektivitātei un elastībai, lai nodrošinātu rentablus risinājumus.
Priekšrocības
Precīza kontrole un augsta ražība
Paš-optimizētais ICP avots šeit patiešām rada atšķirību,-tas palielina plazmas viendabīgumu par 15%, ar -plāksnīšu viendabīgumu mazāku vai vienādu ar 5% un plāksnīšu viendabīgumu-līdz{6}}mazāku vai vienādu ar 3%. Tad vēl ir 100:1 kodināšanas selektivitāte; kas ievērojami samazina substrāta bojājumus, un, protams, arī raža saņem labu stimulu.
Liela masveida-ražošana un izmaksu-ekonomija
Pievērsīsimies grūtiem skaitļiem,{0}}šī sistēma var apstrādāt 12 000–15 000 vafeļu mēnesī. Arī uzticamība ir stabila: MTBF ir vairāk nekā 300 stundu, un MTBC sasniedz 350 RF{8}}stundas. Turklāt tā kompaktais dizains ietaupa 30% vietas, kas savukārt samazina kopējās ekspluatācijas izmaksas par 20%-, kas ir liels ieguvums budžetam.
Plaša saderība
Tas ir diezgan daudzpusīgs, ja runa ir par materiāliem -silīciju, Al/W metāliem un SiO₂/Si₃N₄ dielektriķiem, un tas viss darbojas ar tā kodināšanas procesu. Un modulārais interfeiss ir glābiņš; loģikas, atmiņas vai jaudas pusvadītāju parametru pārslēgšana nemaz neaizņem daudz laika.
Inteliģenta darbība
Skārienjutīgais interfeiss ir -draudzīgs lietotājam, un tajā ir iebūvēts-datu bāze un kļūdu diagnostikas rīks. Jauni operatori? Viņi var paātrināties tikai nedēļas laikā. Turklāt reāllaika uzraudzība-palīdz samazināt uzturēšanas izmaksas-bez nevajadzīgiem izdevumiem.
Lietojumprogrammas
Galvenā 8 collu IC ražošana:Kods 8 collu IC FEOL (vārti, STI) un BEOL (Al vads, W spraudnis) kodināšanai, piemērots 0,11 μm–0, 35 μm loģikas/atmiņas mikroshēmām.
Specializētās ierīces:Pielāgotas receptes IGBT/MOSFET elektrodu kodināšanai un LED/sensora rakstīšanai.
Jaudas palielināšana:Paplašina nobriedušu 8-collu jaudu; 6 collu saderīgs elastīgai vairāku izmēru izvietošanai.
Pētniecība, izstrāde un izmēģinājuma ražošana:Būtiski jaunu materiālu/procesu pētniecībai un attīstībai universitātēs un uzņēmumos, savienojot izmēģinājuma un masveida ražošanu.
Parametri
|
Kategorija |
Sīkāka informācija |
|
Vafeļu saderība |
8 collu (200 mm) IC vafeles; savietojams ar 6 collu vafelēm (pēc izvēles) |
|
Atbalstītie tehnoloģiju mezgli |
0,11 μm – 0,35 μm (galvenie mezgli); pielāgojams specializētiem procesiem |
|
Kameras konfigurācija |
Augstas-stabilitātes ICP avots + precīzs vakuuma pārsūtīšanas modulis + iztukšošanas kamera |
|
Kodināmi materiāli |
Silīcijs, alumīnijs (Al), volframs (W), silīcija oksīds (SiO₂), silīcija nitrīds (Si₃N4) |
|
Galvenā procesa veiktspēja |
- Plāksnīšu viendabīgums:-viendabīgums: mazāks vai vienāds ar 5%- Vafeļu-līdz-plāksnīšu viendabīgums: mazāks vai vienāds ar 3%- Kodināšanas selektivitāte: līdz 100:1 |
|
Ražošanas jauda |
12 000–15 000 vafeļu mēnesī (standarta process) |
|
Uzticamības rādītāji |
- MTBF (vidējais laiks starp neveiksmēm): ＞300 stundas- MTBC (vidējais laiks starp tīrīšanām): 350 RF-h |
|
Sistēmas funkcijas |
Vairāku-parametru slēgtas-cilpas vadība; modulāra procesa saskarne; inteliģenta kļūdu diagnostika |
|
Nepieciešamā telpa |
Kompakts dizains (30% vietas ietaupījums-salīdzinot ar līdzīgiem produktiem) |
|
Ekspluatācijas izmaksu priekšrocība |
Par 20% zemākas visaptverošās ekspluatācijas izmaksas nekā vidēji nozarē |
FAQ
J: Kādus vafeļu izmērus sistēma atbalsta?
A: 8 collu (200 mm) standartā; 6 collu saderīgs (pēc izvēles).
J: Kuri tehnoloģiju mezgli tiek atbalstīti?
A: 0,11 μm – 0,35 μm galvenie mezgli; pielāgojams specializētiem procesiem.
J: Kādus materiālus tas var iegravēt?
A: Silīcijs, Al/W metāli, SiO₂/Si₃N4 dielektriķi.
J: Kāda ir ikmēneša ražošanas jauda?
A: 12 000 – 15 000 vafeļu (standarta process).
J: Kādi ir galvenie uzticamības rādītāji?
A: MTBF＞300h; MTBC=350 RF-h.
Populāri tagi: 8" icp etcher, Ķīna 8" icp etcher ražotāji, piegādātāji
