Apnicis, ka jūsu laboratoriju vai nelielu ražošanas telpu pārņem apjomīgs aprīkojums? RTP-100 darbvirsmas RTP sistēma ir paredzēta mazām plāksnēm (maksimums 6 collas)-ir lieliski piemērota komandām, kurām nepieciešama precizitāte, nezaudējot kvadrātveida kadrus. Tas ir vienkāršs, uzticams un pielāgots pētnieku un mazu partiju ražotāju ikdienas vajadzībām.
Kas mums tajā patīk
Der kā cimds: 910 mm × 860 mm × 695 mm (P × G × A) tas ieslīd šauros stūros vai pārpildītos darbagaldos. Nav nepieciešams pārkārtot visu iestatījumu, lai pievienotu termiskās apstrādes iespējas.
Temperatūras kontrole, uz kuru varat paļauties: divi veidi, kā regulēt siltumu{0}}termopāri istabas temperatūrai līdz 800 grādiem un infrasarkano pirometru no 500 grādiem līdz 1200 grādiem. Uzkarsē vafeles līdz 150 grādi/s (daudz ātrāk nekā ar SiC vai grafīta nesējiem, kas uzkarsē līdz 20-30 grādi/s). Un konsekvence? Mazāks vai vienāds ar ±3 grādiem vienmērīgi zem 600 grādiem , mazāks par vai vienāds ar ±0,5% virs šī, plus ±1 grāds atkārtojamība — lai jūsu rezultāti partijās neatšķirtos.
Nekādas-uztraukšanās: manuāla iekraušana/izkraušana padara lietas vienkāršu (lieliski, ja dodat priekšroku vadāmām -rokas ierīcēm), savukārt skaņas signāls un brīdinājuma gaismas informē, ja kaut kas ir izslēgts. Datora vadība atvieglo arī parametru pielāgošanu-un nav nepieciešama sarežģīta apmācība.
Ietver pamatus (un pēc tam dažus): iztur vakuumu līdz 30 mTorr, uztur skābekli zem 3 ppm un atbalsta līdz 4 MFC kanāliem. Neatkarīgi no tā, vai veicat jonu implantācijas atkvēlināšanu, oksīdu augšanu vai nelielu paraugu termisko apstrādi, tas pārbauda visas rūtiņas, lai nodrošinātu pamata ātru termisko apstrādi.
Kam tas ir paredzēts
Tas nav paredzēts lielām{0}}rūpnīcām-, tas ir paredzēts laboratorijas tehnoloģijām, kas veic ikdienas eksperimentus, maziem ražotājiem, kas izgatavo pielāgotus komponentus, vai pētnieku komandai, kas testē jaunus materiālus. Ja strādājat ar mazām vafelēm un jums ir nepieciešami konsekventi rezultāti bez rūpnieciskā-izmēra aprīkojuma, šis ir paredzēts jums.
Īsi padomi pareizai lietošanai
Temperatūras režīmu pārslēgšana: izmantojiet termopāri temperatūrai līdz 800 grādiem un pārslēdziet uz infrasarkano staru datora programmatūrā, lai iegūtu karstāku. Sistēma automātiski kalibrē sevi-jauks pieskāriens.
Vafeļu ielāde: Nepalaidiet garām tīros cimdus! Pirkstu nospiedumi vai putekļi sabojā rezultātus. Rīkojieties uzmanīgi, nenokrītot, un pārliecinieties, ka tas ir vērsts uz mobilo sakaru operatoru-vienkāršas darbības, kas vēlāk novērš galvassāpes.
Parastie labojumi: Ja skaņas signāls nodziest, startējot, vispirms pārbaudiet, vai dobuma durvis ir cieši aizslēgtas (mēs visi to esam aizmirsuši!). Ja sildīšanas ātrums nesasniedz 150 grādi/s, pārliecinieties, ka neizmantojat nesēju,{2}}kas to palēnina. Un, ja jūsu vafeles negaidīti oksidējas, vēlreiz-pārbaudiet vakuumu (jābūt mazākam par vai vienādam ar 30 mTorr) un skābekļa līmeni (saglabājiet to<3 ppm).
Apkope, kam ir nozīme: reizi nedēļā noslaukiet kvarca kameru ar spirtu-netīrumi uzkrājas ātrāk, nekā jūs domājat. Pārbaudiet lampas ik pēc 3 mēnešiem (nomainiet pēc 1000 stundām) un reizi mēnesī, vai blīvgredzenos nav plaisas. Ak, un neļaujiet ūdens dzesēšanai pārsniegt 70 grādus, -tas ir ātrs veids, kā sabojāt detaļas.
Ciets darba zirgs
Sertificēta atbilstoši SEMI S2 standartiem, šī lieta ir paredzēta ilgstošai darbībai. Tam nav bezgaumīgu papildu funkciju, kuras jūs nekad neizmantosit, taču tas nodrošina galveno: precizitāti, kompaktumu un lietošanas ērtumu. Laboratorijām un mazām komandām, kurām ir nepieciešams termiskās apstrādes risinājums, kas darbojas katru dienu, RTP-100 ir ne-problēma. Tas nav ideāls (nekas tā nav!), taču tas ir uzticams, un tas ir svarīgi, ja mēģināt saglabāt eksperimentus vai ražošanu.
