Pārklājuma un izstrādes sistēma ir izgatavota-vai{1}}pārraušanas ierīce pusvadītāju ražošanā,-tās veiktspēja tieši nosaka ķēdes precizitāti, ražošanas efektivitāti un galīgo ražīgumu. Ja esat iestrēdzis, izvēloties pareizo modeli, šeit ir sniegts ne{4}}muļķīgs ceļvedis, kā novērst troksni:
1. Sāciet ar savu faktisko lietošanas gadījumu
Vispirms nepārdomājiet specifikācijas,{0}}kādiem nolūkiem jūs to patiešām izmantojat:
Masveida ražošanas līnijas(domājiet par barošanas ierīcēm, LED rūpnīcām): Dodiet priekšroku caurlaidspējai un uzticamībai. Mērķējiet WPH (vafeles stundā) vismaz 150, MTBF (vidējais laiks starp kļūmēm) vairāk nekā 1000 stundu un 95% vai lielāku darbspējas laiku-jūs nevarat atļauties biežas dīkstāves.
P&A laboratorijas vai nelieli{0}}pakešu projekti: Elastīgums ir vissvarīgākais. Meklējiet rīkus, kas darbojas ar vairākiem procesiem (I līnija, PI, PR utt.) un var tikt galā ar viltīgām -izkropļotām, kvadrātveida vai nepāra izmēra -izmēriem.
Specifiskas mikroshēmu vajadzības:
2-6 collu saliktie pusvadītāji vai gaismas diodes? UTW-1500 vai UTW1500X atbilst rēķinam.
8-12 collu augstas klases mikroshēmas vai CoWoS iepakojums? UTW-3000 ir vienīgais, kas atbalsta šīs lielākās vafeles.
2. Koncentrējieties uz specifikācijām, kurām ir nozīme
Jums nav jāiegaumē katrs cipars{0}}nulle no šiem galvenajiem:
Precizitāte: minimālais līnijas platums (350 nm pamata lietojumiem, līdz 45 nm augstākās klases mikroshēmām) un vafeļu pārrāvuma pakāpe (jābūt mazākam par vai vienādam ar 0,01%-, pat saskaitot niecīgus zudumus).
Caurlaide: WPH svārstās no 150 (UTW1500X) līdz 200 (UTW-3000) — izvēlieties to, kas atbilst jūsu ražošanas tempam.
Saderība: Pārliecinieties, vai tas atbilst jūsu vafeles izmēram (2–12 collas) un kasetēm (SMIF, OPEN CASSETTE vai FOUP tīrākai videi).
3. Nepalaidiet garām mazās detaļas
Sīkas lietas var būtiski mainīt ikdienas{0}}lietošanu-:
Kosmoss: ja jūsu darbnīca ir šaura, tornis{0}}stila UTW1500X (166015102000 mm) ietaupa vērtīgu grīdas platību. Nepieciešama vieta, kur paplašināties? Izvēlieties modeļus ar 2C2D/4C4D+interfeisu (piemēram, UTW-1500 vai UTW-3000).
Materiāli: vafeles saskares daļām ir jābūt PEEK/PTFE/CERAMICS vai saderīgām ar ASML/Nikon aprīkojumu,{0}}lai netiktu piesārņotas plāksnes.
Programmatūra: tai ir jādarbojas operētājsistēmā Windows 10 vai jaunākā versijā-nav jēgas strādāt ar novecojušām sistēmām, kas ir pretrunā ar jūsu iestatījumiem.
4. Pārbaudiet akreditācijas datus un pēc-pārdošanas atbalstu
Laba mašīna ir tik uzticama, cik uzticams ir uzņēmums, kas atrodas aiz tās:
Izvēlieties ražotājus ar ISO, IAF un CNAS sertifikātiem -tas ir pierādījums tam, ka viņi atbilst nozares standartiem.
Apstipriniet, ka tie piedāvā ātru remontu (MTTR mazāks par 4 stundām vai vienāds ar to) un stabilu tehnisko atbalstu. Kad mašīna nokrīt, jūs nevarat gaidīt nedēļas palīdzību.
5. Ātra modeļu izvēle bieži sastopamiem scenārijiem
2-6 collu pētniecība un attīstība vai mazo sēriju ražošana(saliktie pusvadītāji, gaismas diodes, optiskās ierīces): UTW-1500/UTW1500X. Tas ir rentabls-, darbojas ar lielāko daļu pamata procesu un bez aizķeršanās tiek galā ar deformētām/kvadrātveida vafelēm,-kā arī ļoti zems lūzuma līmenis (mazāks par 0,01%).
4-8 collu vidējas klases mikroshēmu masveida ražošana(barošanas ierīces, IC, atmiņas mikroshēmas): UTW-2000A. Ar 180 nm precizitāti un stabilu 160 gab./h caurlaidspēju tas ir piemērots vidēja mēroga līnijām. Tas ir arī aprīkots ar līdz pat 24 aukstuma/karstās plāksnes moduļiem konsekventai apstrādei.
8-12 collu augstas klases mikroshēmu masveida ražošana(atmiņas mikroshēmas, CoWoS iepakojums): UTW-3000. Tas ir visefektīvākais — 45 nm precizitāte, 200 pc/h caurlaidspēja un atbalsts progresīviem procesiem, piemēram, KrF un ArF. FOUP/SMIF kasešu savietojamība nodrošina jutīgu mikroshēmu tīrību.
Atstarpes-ierobežotas mazas līnijas: UTW1500X. Šis torņa dizains ir glābiņš šaurās vietās, un tas joprojām atbilst visiem pamata veiktspējas rādītājiem.
Īpaši procesi vai nepāra -formas vafeles: UTW-2000Z. Tas aptver gandrīz visus procesus (I līnija, KrF, ArF, Package), un tajā ir līdz pat 38 aukstās/karstās plāksnes moduļi, kas ir lieliski piemēroti pielāgotiem darbiem vai sarežģītiem substrātiem.
