Produktu pārskats
Pielāgota risinājuma daudzfunkcionāls jonu implantētājs ir pielāgota-jonu implantācijas platforma. Šīs iekārtas, kas paredzētas pētniecības institūtiem, universitātēm un mazu -partiju speciālo-procesu pusvadītāju ražošanas līnijām, atbalsta gan gāzveida, gan cieto jonu avotus. Mērķa kamerā var konfigurēt augstas{6}}temperatūras un zemas{7}temperatūras implantācijas režīmus. Tas ir ļoti pielāgojams materiālu pārveidošanai, progresīvai-materiālu izpētei, izmēģinājuma-līnijas pusvadītāju ražošanai un īpašai-paraugu implantācijai neregulāriem maza izmēra{12}}substrātiem. Platforma atbalsta personalizētu aparatūras un funkciju pielāgošanu atbilstoši klienta specifiskajām procesa prasībām.
Priekšrocības
Ļoti pielāgojama arhitektūra: elastīga jonu avota, mērķa kameras, vafeļu turētāja un staru{0}}līnijas moduļu konfigurācija, lai atbilstu dažādām ne-standarta procesa prasībām. Mērķa kamerai ir pieejami gan augstas temperatūras, gan kriogēnās implantācijas režīmi.
Divu{0}}režīmu jonu-avota saderība: atbalsta gāzveida un cietā avota darbību, aptverot plašu implantu jonu sugu klāstu materiālzinātnē un pusvadītāju pētniecībā un attīstībā.
Plaša substrāta pielāgošanās spēja: darbojas ar standarta 4-/6 collu vafelēm, kā arī neregulāriem maziem gabaliņiem, novēršot ierobežojumus parauga formas faktoram laboratorijas mēroga pētījumiem.
Plašs vafeļu -temperatūras regulēšanas diapazons: atbalsta procesa temperatūru no istabas temperatūras līdz 550 grādiem, un pēc pieprasījuma var konfigurēt papildu dzesēšanas mērķa kameru, lai veiktu eksperimentus ar jutīgu materiālu.
Lietotājam draudzīgs pētniecības un izstrādes scenārijs: vienkāršota receptes iestatīšana, ērta staru-līnijas atkļūdošana un elastīga pakešu vai viena-parauga injekcija, kas ir labi-piemērota akadēmiskai pētniecībai un neliela-apjoma izmēģinājuma ražošanai.
Lietojumprogrammas
Akadēmiskā pētniecība un mācīšana: universitāšu laboratorijas, pētniecības institūtu materiāli{0}}zinātniskie eksperimenti
Materiāla modifikācijas: metālu, keramikas, polimēru un jaunu funkcionālu materiālu jonu staru modifikācija{0}}
Speciāla pusvadītāju izmēģinājuma ražošana: nelielu-pakešu savienojumu-pusvadītāju ierīču izmēģinājuma ražošana
Pielāgota īpaša procesa implantācija neregulāriem maziem{1}}izmēra paraugiem
Parametri
|
Vienums |
Specifikācija |
|
Vafeļu / parauga lielums |
6 collu, 4 collu vai neregulāri mazi gabali |
|
Enerģijas diapazons (viena uzlāde) |
30-200 keV |
|
Implantu sugas |
P, B, As, Fe, H, He un citi pielāgoti joni |
|
Procesa vafeļu temperatūra |
RT-550 grāds ; dzesēšanas mērķa kamera pēc izvēles |
FAQ
J: Kādiem klientiem galvenokārt ir paredzēts pielāgoto risinājumu daudzfunkcionālais implantators?
A: Tas ir orientēts uz universitātēm, zinātniskās pētniecības institūtiem un maza mēroga īpašu procesu pusvadītāju izmēģinājuma ražošanas līnijām. Tas koncentrējas uz pētniecību un izstrādi un nelielu sēriju izmēģinājuma darbību, nevis liela apjoma galveno IC ražotņu masveida ražošanu.
J: Vai šī iekārta var apstrādāt nestandarta neregulārus mazus paraugus?
A: Jā. Neatkarīgi no standarta 4 collu un 6 collu vafelēm, tā atbalsta neregulārus maza izmēra paraugus. Paraugu turētājus var pielāgot atbilstoši klienta parauga izmēriem.
J: Kādas temperatūras iespējas ir pieejamas implantācijas laikā?
A: Standarta konfigurācija atbalsta RT 550 grādu augstas temperatūras implantāciju. Kā pielāgotu opciju var pievienot dzesēšanas mērķa kameru zemas temperatūras procesam.
J: Kādus jonu avota režīmus iekārta atbalsta?
A: tas ir savietojams gan ar gāzveida jonu avotu, gan ar cieto jonu avotu, aptverot B, P, As, Fe, H, He un citas jonu sugas; papildu jonu sugas var realizēt, izmantojot pielāgotas modifikācijas.
J: Vai tas var sadarboties ar citiem SEMICORE ZKX ražošanas klases implantētājiem?
A: Jā. Tas var darboties kopā ar CIP sērijas vidējas strāvas, CIC sērijas augstas strāvas, CIE 8000 augstas enerģijas implantatoriem. Pielāgoto platformu var izmantot iepriekšējai izpētei un recepšu izpētei pirms masveida ražošanas uz ražošanas līmeņa iekārtām.
J: Kādus pakalpojumus var iegūt šai pielāgotajai platformai?
A: SEMICORE ZKX nodrošina shēmas pielāgošanu, aprīkojuma uzstādīšanu un nodošanu ekspluatācijā, rezerves daļu piegādi, tehnisko atbalstu uz vietas un papildu procesu izpētes pakalpojumus uz pētniecību vērstiem projektiem.
Populāri tagi: sic jonu implantētājs, Ķīnas sic jonu implantatoru ražotāji, piegādātāji
