Produktu pārskats

Šī daļēji{0}}automātiskā RTP iekārta ir diezgan praktiska, un tā spēj apstrādāt vafeles no 8 līdz 12 collām. Daļēji-automātiskā RTP iekārta piedāvā precīzu temperatūras kontroli un ļoti zemu skābekļa saturu, padarot to ideāli piemērotu lietojumiem, kuriem nepieciešama augsta procesa tīrība. Turklāt tas ir -bagātīgs ar funkcijām, atbalsta gan atmosfēras, gan vakuuma apstrādes metodes, kā arī ietver trīskāršas drošības funkcijas. Tas ir lieliski piemērots tādiem procesiem kā ITO optimizācija un silicīdu sakausējumu atkausēšana vidēja-apjoma ražošanā.

Priekšrocības

Plaša pielāgošanās spēja:

Apstrādā 8-12 collu vafeles, kas atbilst dažāda izmēra sērijveida ražošanas vajadzībām. Elastīgās lampas un SCR konfigurācijas pielāgojas dažādiem procesa scenārijiem.

Automatizācija uzlabo efektivitāti:

Lai gan joprojām ir nepieciešama manuāla vafeļu iekraušana un izkraušana, kameras durvis automātiski atveras un aizveras pēc procesa palaišanas, samazinot manuālo iejaukšanos un uzlabojot darbības efektivitāti un procesa konsekvenci.

Precīza atmosfēra:

Skābekļa saturs<1ppm, combined with 6-channel MFC, enables precise control of the reaction atmosphere, suitable for impurity-sensitive annealing processes.

Drošs un uzticams:

Aprīkots ar trīskāršām drošības funkcijām, kas apvienotas ar automātisko kameras durvju vadību, samazinot ekspluatācijas un procesa riskus un nodrošinot stabilu iekārtu darbību.

Parametri

Modelis	RTP-SA-8	RTP-SA-12
Vafeļu izmērs	8 collas un mazāk	12 collas un mazāk
Izmērs	970 mm × 1550 mm × 2160 mm (P × P × A)	1050 mm × 1740 mm × 2240 mm (W×D×H)
Temperatūras diapazons	RT ~ ~ 800 grādi (kontrolē ar termokopu) 500 grādi ~ 1250 grādi (kontrolē ar pirometru)	RT ~ ~ 800 grādi (kontrolē ar termokopu) 500 grādi ~ 1250 grādi (kontrolē ar pirometru)
Maksimālais apkures ātrums	150 grādi /s---Tikai vafele 20 grādu /s---SiC nesējs 30 grādi /s---Grafīta nesējpārklājums SiC	150 grādi /s---Tikai vafele 20 grādu /s---SiC nesējs 30 grādi /s---Grafīta nesējpārklājums SiC
Temperatūras viendabīgums	Mazāks vai vienāds ar ±3 grādiem @ Mazāks vai vienāds ar 600 grādiem Mazāks vai vienāds ar ±0,5% @ ＞600 grādiem	Mazāks vai vienāds ar ±3 grādiem @ Mazāks vai vienāds ar 600 grādiem Mazāks vai vienāds ar ±0,5% @ ＞600 grādiem
Temperatūras atkārtojamība	±1 grāds	±1 grāds
Lampu/SCR skaits	33 ea / 10 komplekts	41 ea / 16 komplekts 55ea / 24 komplekts
Maksimālais MFC	6	6
Zemākais spiediens	30 mTorr	30 mTorr
Noplūdes ātrums	10 mTorr/min	10 mTorr/min
O₂Procenti	＜1 ppm	＜1 ppm
Maksimālā/ vidējā jauda	90/ 50 Kw	100/ 60 Kw
Spriegums	380V/ 60HZ/ 3 fāzes 5 vadi	380V/ 60HZ/ 3 fāzes 5 vadi
Kontroles metode	PC vadība	PC vadība

FAQ

1.Kameras durvis neatveras/aizveras automātiski?

Pārbaudiet, vai process sākās normāli. Restartējiet iekārtu un mēģiniet vēlreiz. Ja problēma joprojām pastāv, pārbaudiet kameras durvju sensora vadu.

2.Skābekļa saturs pārsniedz 1 ppm?

Nomainiet ar augstas{0}}tīrības pakāpes inertu gāzi. Pārbaudiet, vai gāzes vadā nav noplūdes. Remontējiet un atkārtoti pārbaudiet skābekļa līmeni.

3.Nevienmērīga vafeļu sildīšana?

Pārbaudiet, vai vafeles izmērs ir pareizs (8/12 collas). Iztīriet kvarca kameru. Ja problēma joprojām pastāv, sazinieties ar inženieri, lai pielāgotu lampas jaudu.

4. Vai vafele viegli izslīd manuālas iekraušanas/izkraušanas laikā?

Notīriet nesēja virsmu. Iekraušanas/izkraušanas laikā uzmanīgi spiediet vafeles uz centru. Valkājiet neslīdošus,-putekļus nesaturošus cimdus.

5.Kā apstāties ārkārtas situācijā?

Nospiediet "EMO avārijas apstāšanās", lai izslēgtu siltuma avotu. Pēc problēmas atrisināšanas nospiediet pogu "Atiestatīt", lai restartētu.