Produktu pārskats
Nice{0}}Tech CV600/CV700 sērija ir augstākās-masas{4}}ražošanas MOCVD ierīces saliktu pusvadītāju epitaksiskajai izaugsmei, izmantojot patentētu planetāro-satelīta divkāršās rotācijas tehnoloģiju, lai panāktu vairāku{6}}plāksnīšu augšanu ar viena-līmeņa viendabīgumu. Iekārtai ir SEMI-S2/SEMI-S6 sertifikācija, tās ir viegli darbināmas un apkopjamas, kā arī nodrošina elastīgu pielāgošanu, kas var lepoties ar vadošo avotu gāzes izmantošanas efektivitāti, izmantojot optimizētu gāzes iesmidzināšanas un transportēšanas dizainu. CV700 ir augstas{16}}jaudas modernizēts modelis, kas veido gradientu produktu līniju, lai apmierinātu dažādās pasaules rūpniecisko lietotāju un pētniecības iestāžu masveida ražošanas prasības.
Priekšrocības
1. Izcila augšanas viendabība: Planetārā{0}}satelīta dubultā rotācija nodrošina līdzenu materiāla virsmu, asus difrakcijas maksimumus un stāvas augšanas saskarnes ar izcilu vienmērīgumu.
2. Augsta avota gāzes izmantošanas efektivitāte: Optimizēts gāzes dizains palielina avota gāzes izmantošanu, kas ir ideāli piemērots izmaksu{0}}jutīgai epitaksiskajai masveida ražošanai.
3. Augsta drošība un uzticamība: SEMI-S2/SEMI-S6 sertificēts, ar optimizētu struktūru vienkāršai darbībai, vienkāršai apkopei un ilgam kalpošanas laikam.
4. Plašs materiāla augšanas diapazons: aptver galveno 2. un 3. -paaudzes pusvadītāju materiālu epitaksiālo augšanu daudzu-scenāriju savienojumu pusvadītāju ražošanai.
5. Elastīga konfigurācija un pielāgošana: bagātīgas substrāta izmēru iespējas, atbalsts pielāgotai gāzes ķēžu, termostata vannu un citu galveno komponentu jaunināšanai.
6. Precīza procesa kontrole: Standartā ar neatkarīgu satelīta plāksnes temperatūras kontroli, in-in situ R/T uzraudzību un daudzslāņu gāzes iesmidzināšanu augstas-precizitātes, stabilai izaugsmei.
Lietojumprogrammas
Šī sērija nodrošina galveno 2./3 Tas apkalpo galvenos termināļu laukus, tostarp jaunu enerģiju, elektroenerģijas pārvadi, 5G/aerokosmosa sakarus, ātrgaitas{6}}transportu un viedo ražošanu, un tas ir galvenais aprīkojums trešās-paaudzes pusvadītāju spēka ierīču, VCSEL un saules bateriju masveida ražošanai.
Parametri
|
Kategorija |
Galvenās specifikācijas |
CV600 |
CV700 |
|
Substrāta konfigurācija |
Pieejamās vafeļu kombinācijas (pamata specifikācijas) |
12x4", 6x6", 8x6", 5x8" |
15x4", 8x6", 9x6", 6x8" |
|
Standarta gāzes ķēde (As/P{0}}materiāli) |
MO avota gāzes vadi |
8 rindas (6 standarta + 2 dubultā atšķaidīšana) |
|
|
Hidrogāzes vadi (iekļauts dopings) |
4 rindas (2 standarta + 2 dubultā atšķaidīšana) |
||
|
Standarta gāzes ķēde (nitrīda materiāli) |
MO avota gāzes vadi |
6 rindas (5 standarta + 1 dubultā atšķaidīšana) |
|
|
Hidrogāzes vadi (iekļauts dopings) |
3 rindas (2 standarta + 1 dubultā atšķaidīšana) |
||
|
Galvenā standarta aparatūra |
Galvenās funkcionālās sastāvdaļas |
Tīra, sausa, -bezskābekļa cimdu kaste, griestu temperatūras kontrole, RF apsildes komplekts, neatkarīga satelīta plāksnes temperatūras kontrole, in-situ R/T uzraudzība, vairāku-slāņu gāzes iesmidzināšanas mehānisms |
|
|
Taustiņu izvēles konfigurācija |
Galvenās jaunināšanas preces |
1. Robota svira satelītplākšņu pārsūtīšanai, deformācijas uzraudzībai in situ |
|
|
Tipiska procesa veiktspēja |
Dopinga vienveidība |
GaAs:Si mazāks vai vienāds ar 0,87%; GaAs:C mazāks vai vienāds ar 4,53% |
|
|
Komponentu viendabīgums |
GaInP/AlGaInP MQW std Mazāks vai vienāds ar 0,02%; InGaAs/AlGaAs MQW std Mazāks vai vienāds ar 0,022% |
||
|
Biezuma viendabīgums |
GaInP lielapjoma std Mazāks vai vienāds ar 0,6% |
||
|
Lielapjoma materiāla veiktspēja |
GaAs tilpums: BG koncentrācija ＜1×10¹⁵cm⁻³, mobilitāte 7210 cm²/V-s |
||
|
InP tilpums: BG koncentrācija 1,45 × 10¹³cm⁻³ |
|||
FAQ
FAQ
J: Kādu pamattehnoloģiju sērija izmanto?
A: Planetārais{0}}satelīta dubultā rotācija ar viena-vafeles-līmeņa viendabīgumu vairāku-vaļļu augšanai.
J: Kādus materiālus tas var audzēt?
A: 2.-gen (arsenīdi/fosfīdi) un 3.-gen (nitrīdi/SiC) pusvadītāji.
J: Kāda ir atšķirība starp CV600 un CV700?
A: CV700 ir lielas ietilpības{1}}modelis ar lielāku substrāta nestspēju; galvenās specifikācijas ir konsekventas.
J: Vai aprīkojuma drošība ir sertificēta?
A: Jā, tam ir SEMI{0}}S2/SEMI-S6 starptautiskie sertifikāti.
J: Vai tas atbalsta pielāgošanu?
A: Jā, gāzes vadus, uzraudzības sastāvdaļas, termostatiskās vannas var pielāgot/jaunināt.
J: Kādas ir tās masveida ražošanas priekšrocības?
A: vadošā avota gāzes izmantošana, lieliska viendabīgums, vienkārša darbība / apkope.
J: Kāda pamata aparatūra ir standarta komplektācijā?
A: Cimdu nodalījums bez skābekli, -bez skābekli, in-situ R/T uzraudzība, neatkarīga satelīta plāksnes temperatūras kontrole, RF sildīšanas komplekts utt.
J: Kādas ir tās galvenās pielietojuma jomas?
A: Jauna enerģija, 5G/aviācija, ātrgaitas{1}}transports, vieda ražošana; kodols 3.-paaudzes pusvadītāju barošanas ierīcēm/VCSEL/saules baterijām.
Populāri tagi: industriālā mocvd sistēma, Ķīnas rūpniecisko mocvd sistēmu ražotāji, piegādātāji
