Produktu pārskats
Šī magnetrona izsmidzināšanas sistēma ir paredzēta metāla plānās kārtiņas uzklāšanai pusvadītāju ražošanā. To plaši izmanto integrētajās shēmās, barošanas ierīcēs un uzlabotā iepakojumā. Sistēma atbalsta 6 collu un 8 collu vafeles un nodrošina stabilu, atkārtojamu plānās kārtiņas augšanu gan pētniecībai un attīstībai, gan apjoma ražošanai.
Priekšrocības
1. Klastera stils un modulārais dizains ļauj viegli konfigurēt un paplašināt dažādu procesu vajadzībām.
2. Pilnībā automatizēta vafeļu apstrāde ar pilnām palīgfunkcijām nodrošina darbības stabilitāti un samazina manuālo iejaukšanos.
3. Vienas kameras viena mērķa izkārtojums atbalsta paralēlus un sinhronus procesus, uzlabojot kopējo efektivitāti.
4. Augsta vakuuma veiktspēja līdz ~6E 6 Pa un lokšņu pretestības viendabīgums Mazāks par vai vienāds ar 3%, palīdz nodrošināt konsekventu plēves kvalitāti plāksnēs.
Lietojumprogrammas
1. Integrētās shēmas: izmanto metāla starpsavienojumu, elektrodu un barjeras slāņu uzklāšanai priekšgala un aizmugures procesos.
2. Strāvas ierīces: atbalsta metāla plēves veidošanu elektrodiem, metalizāciju un pasivēšanu augstsprieguma un lieljaudas komponentos.
3. Uzlabots iepakojums: nodrošina drošu metalizāciju pārdales slāņiem (RDL), triecieniem un citām iepakojuma starpsavienojumu konstrukcijām.
FAQ
J: Kam šī magnetrona izsmidzināšanas sistēma faktiski tiek izmantota?
A: Tas ir plāns{0}}plēves uzklāšanas rīks-galvenokārt metāla plēvju uzklāšanai pusvadītāju ražošanā. Iedomājieties, ka integrētās shēmas, barošanas ierīces un uzlabotie iepakošanas procesi-ir galvenie tā lietošanas gadījumi.
J: Kādus vafeļu izmērus tā var apstrādāt?
A. Šobrīd tas darbojas ar 6-collu un 8 collu vafelēm. Lieliski piemērots gan laboratorijas pētniecības un attīstības darbam, gan pilna mēroga ražošanas līnijām.
J: Cik zems var būt vakuuma līmenis?
A: Mēs runājam par aptuveni 6E-6 Pa procesa vakuumam. Tas ir ļoti svarīgi, lai iegūtu augstas kvalitātes, konsekventas plānas plēves.
J: Cik konsekventa ir filmas vienveidība?
A. Lokšņu pretestības viendabīgums ir mazāks par vai vienāds ar 3%-, tāpēc jūs neredzēsit lielas atšķirības starp plāksnēm, kas ir galvenais uzticamas ierīces veiktspējas elements.
J: Ar ko šī sistēma izceļas ikdienas lietošanai?
A. Tas ir sīkumi, kas kopā veido: klastera-stila moduļu dizains (īpaši elastīgs pielāgotiem iestatījumiem), pilnībā automatizēta vafeļu apstrāde (samazina manuālo darbu) un vienas-kameru vienas-mērķa izkārtojums (ļauj procesiem darboties paralēli, palielinot efektivitāti).
J: Vai tas ir piemērots progresīvām iepakošanas programmām?
A: Pilnīgi noteikti. To plaši izmanto metalizācijai uzlabotā iepakojumā-, piemēram, RDL (pārdales slāņi), triecieniem un citām savstarpēji savienotām konstrukcijām, kurām nepieciešamas uzticamas metāla plēves.
Populāri tagi: magnetronu izsmidzināšanas sistēma, Ķīnas magnetronu izsmidzināšanas sistēmu ražotāji, piegādātāji
