Produktu pārskats
Šis vienotais vafeļu tīrītājs ir īpaši izstrādāts darbam ar pusvadītāju plāksnēm,{0}}aptverot visu, sākot no 8 collu līdz 12 collu formātiem, bez izņēmumiem. Katrs modelis ir aprīkots ar precīzām procesa vadības ierīcēm (domājiet par sildīšanu, koncentrēšanu, plūsmas ātrumu) un SECS/GEM komunikāciju, tāpēc to integrēšana viedajos modeļos ir ērta. Vēl labāk, tas ir pilnībā konfigurējams, lai tas atbilstu jebkurai jūsu lietojumprogrammai.
Lūk, kā sērija sadalās:
SWC 100:
Izstrādāts, ņemot vērā 12-collu vafeles. Tam ir 8 kameras, un tas darbojas ar 4 FOUP, apstrādājot visus standarta mitros procesus, kas jums ir nepieciešami ikdienā.
SWC 200:
Vēl viena 12 collu fokusēta opcija, bet ar 12 kamerām, nevis 8, plus 4 FOUP saderību. Pamatprocesi? Tieši tāds pats kā SC3100, tāpēc nav jaunas mācīšanās līknes.
SEC Plus:
Elastīgais no ķekara. Tas darbojas gan ar 8-collu, gan 12 collu vafelēm, un jūs varat pielāgot kameru skaitu no 2 līdz 8. Lieliski piemērots barošanas ierīču un silīcija procesu iestatījumos.
Priekšrocības
◆ Formātu un konfigurācijas elastība
SWC100/SWC 200: fiksēts 12{5}}collu atbalsts (8/12 kameras) liela apjoma standarta ražošanai.
SEC Plus: 8–12{3} collu saderība + pielāgojamas kameras, kas pielāgojas jaukta formāta/jaudas ierīču darbplūsmām.
◆ Precīza procesa kontrole
Visi modeļi: Apkure/koncentrācija/plūsmas/spiediena kontrole, kā arī izvēles ķīmija (DHF, SC1 utt.) un 3ea sprauslas vienmērīgai apstrādei.
SEC Plus: pievienota skābes/bāzes/organisko izplūdes gāzu atdalīšana + ķīmiskā reģenerācija, uzlabojot drošību un izmaksu efektivitāti.
◆ Plaša saderība
SWC100 / SWC 200: 4FOUP operatora atbalsts 12 collu fab integrācijai.
SEC Plus: 2–4 atvērtās kasetes/SMIF/FOUP saderība, piemērotas mantotās un modernās ražošanas līnijas.
Lietojumprogrammas
SWC100/SWC 200 (12 collu vafeles)
Pamatprocesi: RCA tīrīšana, GATE tīrīšana, oksīda kodināšana/attīrīšana, fotorezista noņemšana.
Īpaši lietojumi: daļiņu/metāla/organiskā piesārņojuma noņemšana, pirms/pēc{0}}tīrīšana, Al/Cu savienojumu tīrīšana (loģikas/atmiņas mikroshēmām).
SEC Plus (8–12 collu vafeles)
Mērķa ierīces: silīcija karbīda/silīcija barošanas ierīces, silīcija{0}}apstrādes ierīces.
Īpaši procesi: aizmugures atšķaidīšana/tīrīšana, plānās plāksnītes tīrīšana, augstas -temperatūras H3PO4 kodināšana, kā arī standarta piesārņojuma noņemšana un starpsavienojumu tīrīšana.
Parametri
|
Specifikācija |
SWC100 |
SWC 200 |
SEC Plus |
|
Vafeļu izmērs |
12 collas |
12 collas |
8-12 collas |
|
Chambers |
8 kameras |
12 kameras |
2-8 kameras (pielāgojams) |
|
Pārvadātāju saderība |
4FOUP |
4FOUP |
2-4 Atveriet kasete/SMIF/FOUP |
|
Atbalstītās ķīmijas |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
Etchant,SC{0}}Megasonic,DHF,DICO2,N2 |
|
Procesa kontroles funkcijas |
Apkures/koncentrācijas/plūsmas/spiediena kontrole |
Apkures/koncentrācijas/plūsmas/spiediena kontrole |
Apkures/koncentrācijas/plūsmas/spiediena kontrole |
|
Ķīmisko vielu piegādes atbalsts |
N/A |
N/A |
CCSS, LCSS |
|
Izplūdes gāzu vadība |
N/A |
N/A |
Atsevišķa izplūdes gāze (skābe/bāze/organiskās vielas) |
|
Papildu funkcijas |
N/A |
N/A |
Ķīmiskā reģenerācija; vannas aizsardzība pret pārkaršanu; noplūde |
|
Sakaru protokols |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
FAQ
Kādus vafeļu izmērus atbalsta šie modeļi?
SWC100 / SWC 200 atbalsta tikai 12 collu vafeles; SEC Plus ir elastīgs 8–12 collu vafelēm.
Kāda ir atšķirība starp SWC100 un SWC 200?
Tiem ir vienādas 12-collu procesa iespējas — SC3100 ir 8 kameras, savukārt SWC 200 tiek paplašināts līdz 12 kamerām, lai nodrošinātu lielāku caurlaidspēju.
Kurš modelis ir piemērots jaudas ierīču apstrādei?
SEC Plus ir optimizēts silīcija karbīda/silīcija barošanas ierīcēm (atbalsta aizmugures retināšanu, augstas -temperatūras H3PO4 kodināšanu).
Vai šīs sistēmas var izveidot savienojumu ar mūsu ražotnes MES?
Jā-visi modeļi pilnībā atbalsta SECS/GEM sakaru protokolu rūpnīcas integrācijai.
Vai SE Series atbalsta ķīmisko līdzekļu izmaksu{0}taupīšanas funkcijas?
Jā, tas ietver ķīmiskās reģenerācijas funkcionalitāti (pārstrādā procesa ķīmiskās vielas) un klasificēto atkritumu novadīšanu.
Ar kādiem operatoriem šīs sistēmas darbojas?
SWC100 / SWC 200 izmanto 4FOUP; SEC Plus atbalsta 2–4 Open Cassette/SMIF/FOUP (pielāgojas mantotajām/modernajām līnijām).
Populāri tagi: vienas vafeļu tīrītājs, Ķīnas vienas vafeļu tīrītāja ražotāji, piegādātāji
