Būsim reāli-atlaidināšanas krāsns izvēle nav tikai izvēles rūtiņas. Tas ir par to, kā atrast kaut ko, kas atbilst jūsu darbplūsmai, neatkarīgi no tā, vai strādājat laboratorijā vai kuļojiet vafeles 24/7. Mums ir seši RTP (ātrās termiskās apstrādes) modeļi, katrs ir paredzēts konkrētiem darbiem, tāpēc noskaidrosim, kā atrast to, kas jums patiešām der,{4}}nevis otrādi.
Pirmkārt: nosakiet svarīgākos pamatus
Pirms iegrimstat specifikācijās, sāciet ar trim vienkāršiem jautājumiem. Tie pārtrauks troksni ātrāk nekā jebkas cits.
1. Cik daudz jūs pelnāt un kāda izmēra vafeles jūs izmantojat?
Jūsu izvades un plāksnītes izmērs nav -apspriežams-, tie nekavējoties izslēgs modeļus, kas nevarēs sekot līdzi vai derēs jūsu detaļām.
Piemēram:
Ja esat universitātes laboratorija, kas testē jaunus materiālus ar 4-collu vafelēm (un nepieciešama tikai nedaudz nedēļā), mūsu darbvirsmas RTP aprīkojums ir ideāls. Tā maksimālais platums ir 6 collas un iederas uz darbagalda — nav nepieciešams milzīgs nospiedums.
Ja vēlaties ražot 8-collu vafeles (piemēram, no 500 līdz 2000 nedēļā) vidēja apjoma{5}}ražošanai, pusautomātiskā RTP iekārta ir saprātīga. Tas iztur 8–12 collas un samazina manuālo darbu bez pilnīgas automatizācijas izmaksām.
Liela -apjoma veikaliem (2,000+ vafeles nedēļā, 12- collu izmērs) jums būs nepieciešama automātiskā RTP iekārta vai augstas-temperatūras oksidācijas RTP iekārta. Automātiskais darbojas 24 stundas diennaktī ar robotiem — bez cilvēka kļūdas, kas palēnina darbību.
Tas ir vienkārši: nepērciet 12-collu krāsni, ja izmantojat tikai 6 collu vafeles. Jūs tērēsit vietu un naudu.
2. Ko tieši jūs mēģināt darīt?
Mūsu krāsnis nav tikai -viltu poniji-, bet tās ir optimizētas konkrētiem darbiem. Ja jums ir jāaudzē SiO₂ plēves CMOS mikroshēmām, neizmantojiet modeli, kas paredzēts zema -karsēšanai.
Lūk, ātrā atbilstība:
Vai audzējat tīras, blīvas SiO₂ plēves (IGBT vai MEMS)? Izmantojiet augstas{0}}temperatūras oksidācijas RTP aprīkojumu. Tas sasniedz precīzas temperatūras (600–1150 grādi) un uztur ļoti zemu skābekļa līmeni, kas ir ļoti svarīgs filmas kvalitātei.
Vai nepieciešams pārslēgties starp oksidēšanu, difūziju un atkausēšanu (viss vienā mašīnā)? Oksidācijas un difūzijas RTP iekārta ir jūsu puisis. Tam ir 1–4 procesa caurules, tāpēc, ja nepieciešams, varat veikt divus darbus vienlaikus.
Vai strādājat ar optoelektroniku (piemēram, VCSEL), kam nepieciešama zema{0}}karsēšana (250–500 grādi)? Zemas-temperatūras RTP iekārta ir paredzēta šim nolūkam. Tas novērš trauslu materiālu sadedzināšanu un samazina daļiņu daudzumu, lai nodrošinātu opto-ierīces veiktspēju.
Vai prototipiem nepieciešama vienkārša atkausēšana (piemēram, jonu implantācijas pieskāriens{0}})? Desktop RTP veic darbu, nesarežģot lietas.
3. Ar kādiem materiāliem jūs strādājat?
Ne visas krāsnis labi spēlē ar katru materiālu.
Izlaidiet minējumus:
Silīcijs (IC vai standarta IGBT)? Lielākā daļa modeļu darbojas, taču oksidācijas un difūzijas RTP aprīkojums ir lieliski piemērots, ja nepieciešami vairāki procesi.
Plašs{0}}joslas diapazons, piemēram, SiC vai GaN (elektroelektrostaciju barošanas moduļiem)? Oksidācijas un difūzijas RTP iekārta apmierina to augstās -siltuma vajadzības (400–1200 grādi) vai augstas-temperatūras oksidācijas RTP, ja koncentrējaties uz filmām.
Litija niobāts (optoelektronikai)? Pieturieties pie zemas{0}}temperatūras RTP aprīkojuma. Tā 250–500 grādu diapazons nesabojās materiālu, kā to darītu augstas -karstuma modelis.
Nākamais: Iepazīstieties ar specifikācijām, kas faktiski ietekmē jūsu darbu
Kad esat apguvis pamatus, ir pienācis laiks pārbaudīt specifikācijas, kas padarīs vai izjauks jūsu procesu. Neaizmirstiet par katru numuru{1}}koncentrējieties uz šiem trim.
Temperatūras kontrole: rīkojieties pareizi, pretējā gadījumā cietīs jūsu daļas
Ja jūsu procesam nepieciešama stingra temperatūras kontrole, nepiekāpieties. Piemēram:
Zemas-temperatūras RTP iekārtai ir 860mm plakana zona (tā ir zona ar pastāvīgu siltumu) -, kas ir ideāli piemērota, lai nodrošinātu, ka katrai vafelei partijā ir tāda pati apstrāde.
Augstas-temperatūras oksidācijas RTP aprīkojuma precizitāte ir ±0,5 grādu-ne-apspriežama, ja audzējat SiO₂ plēves, kur pat neliela temperatūras maiņa grauj kvalitāti.
Ja pārslēdzaties starp zemu un augstu temperatūru (piemēram, 500–1000 grādiem), pus-automātiskajiem vai automātiskajiem RTP ir divējāda vadība: termopāri zemākai temperatūrai, pirometri augstākai temperatūrai. Manuāla regulēšana nav nepieciešama.
Automatizācija: cik daudz darba vēlaties darīt?
Automatizācija nav tikai "izdomāta"-tā ir saistīta ar konsekvenci un ātrumu.
Ja esat laboratorija ar vienu personu, kas apstrādā paraugus, manuāla ielāde (darbvirsmas RTP iekārta) ir piemērota. Jums nebūs nepieciešami roboti 10 vafelēm nedēļā.
Vidēja skaļuma gadījumā daļēji{0}}automātiskās RTP automātiskās kameras durvis ietaupa laiku,{1}}kad tiek ielādēta vafele, jānospiež starts, un durvis tiek atvērtas/aizveras pašas no sevis. Mazāk stāvēt apkārt, mazāk kļūdu.
Liela apjoma{0}}veikali? Automātiskās RTP roboti apstrādā iekraušanu, izlīdzināšanu un dzesēšanu,{1}}kā arī savienojas ar jūsu ražošanas pārvaldības sistēmu. Tam pat ir vafeļu plīsuma līmenis, kas mazāks par 1 no 10 000. Ieguldījuma vērts, ja dīkstāves jums maksā naudu.
Atmosfēra: izvairieties no piemaisījumiem (ja nepieciešams)
Ja jūsu process ir jutīgs pret skābekli (piemēram, pusvadītāju dopings), neizlaidiet to.
Pus{0}}automātiskie un automātiskie RTP nodrošina īpaši tīru skābekļa līmeni zem 1 ppm-. Viņiem ir arī 6 MFC (masas plūsmas regulatori), lai pielāgotu gāzes maisījumus tieši tā, kā jums nepieciešams.
Darbvirsmas RTP aprīkojums ir zem 3 ppm-pietiekami labs pamata darbiem, bet ne īpaši-tīriem procesiem.
Ja veicat vienkāršu oksidēšanu, 3 ppm ir labi. Ja jūs gatavojat čipsus, kur pat niecīgs piemaisījums samazina veiktspēju, mēģiniet<1 ppm models.
Visbeidzot: neaizmirstiet praktiskās lietas
Pat labākā krāsns nedarbosies, ja tā neatbilst jūsu telpai vai budžetam.
Vieta: vispirms izmēriet, iegādājieties vēlāk
Laboratorija vai mazs veikals? Galddatora RTP ir 910 mm × 860mm × 695 mm-, kas ir aptuveni liela rakstāmgalda izmērs.
Vidēja iespēja? Semi{0}}Automatic RTP (8-collu modelis) ir 970 mm × 1550 mm × 2160 mm, taču to joprojām var pārvaldīt, taču jums būs nepieciešama īpaša vieta.
Liela rūpnīca? Automātiskās RTP dubultā{0}}dobuma modelis ir 2100 mm × 2450 mm × 2200 mm-, pārliecinieties, ka jums ir vieta, kur to pārvietoties.
Drošība: tas nav{0}}apspriežams (taču mēs jūs nodrošinām)
Visi mūsu modeļi atbilst SEMI S2{1}}nozares drošības noteikumiem. Bet dažiem ir papildu priekšrocības:
Automātiskajai RTP iekārtai ir vienas{0}}pogas avārijas apturēšana, un tā brīdina par pārkaršanu vai ūdens noplūdi,{1}}kas ir būtiska darbībai visu diennakti.
Darbvirsmas RTP aprīkojumam ir skaņas signāli un brīdinājuma gaismas,{0}}vienkāršas, taču efektīvas laboratorijās, kurās kāds var veikt vairākus uzdevumus.
Joprojām iestrēdzis? Mēs esam šeit, lai palīdzētu
Būsim godīgi{0}}dažreiz jums par to ir jārunā. Ja atrodaties nožogojumā (piemēram, izvēloties starp daļēji-automātisko vai automātisko, lai palielinātu apjomu), mēs varam:
Apskatiet savu pašreizējo darbplūsmu un to, kā to varētu mērogot.
Parādiet demonstrāciju par to, kā modelis apstrādātu jūsu konkrēto procesu.
Pat pielāgojiet modeli (piemēram, pievienojiet papildu procesa caurules), lai tas atbilstu jūsu vajadzībām.
Mēs nepārdodam "viens izmērs-piemērots-visam",-mēs pārdodam krāsnis, kas atbilst jūsu darbam. Neatkarīgi no tā, vai testējat jaunus materiālus vai izmantojat ražošanas līniju, ir jums piemērots modelis.
Vienkārši sazinieties ar mūsu tehnisko komandu,{0}}mēs palīdzēsim to atrast.
