Ja kādreiz esat skenējis litogrāfijas sistēmu sarakstus un domājis: “Kurš no tiem patiesībā atbilst manām vajadzībām?”-jūs neesat viens. Neatkarīgi no tā, vai veidojat prototipus laboratorijā vai mērogojat rūpniecisko ražošanu, izvēloties Nice-tech bezmasku UV litogrāfijas modeli, jūsu mērķi ir jāsaskaņo ar galvenajām specifikācijām. Sadalīsim savu klāstu, lai vienkāršotu jūsu izvēli.
Sāciet ar jūsu obligātajām{0}}lietām
Vispirms atbildiet uz diviem jautājumiem, lai ātri sašaurinātu iespējas:
Kāda ir mazākā funkcija, kas man nepieciešama? (Saistīts ar kritisko dimensiju/minimālajām līnijām/atstarpēm.)
Cik ātri man ir jāražo? (Attiecas uz ekspozīcijas ātrumu.)
Visi mūsu modeļi izlaiž fiziskās maskas (lielas elastības dēļ!), taču tās ir optimizētas precizitātei, ātrumam vai lieliem substrātiem. Lūk, kā viņi sakrājas.
1. Akadēmiskā izpēte un maza{1}}pakešu precizitāte: MLM 100
Universitātes laboratorijām vai jaunizveidotiem uzņēmumiem mikroierīču (MEMS, mikrofluidikas) prototipēšanai UV Litho{0}}ACA līdzsvaro precizitāti un telpas efektivitāti.
Precizitāte: 0,8 μm kritiskā dimensija (CD), 1,0 μm līnijas/atstarpes (lieliski piemērots laboratorijas-mēroga darbam).
Ātrums: līdz 100 mm²/min (trīs objektīva opcijas{1}}ideāli piemērotas iteratīvai pārbaudei).
Vieta: kompakts 750 × 800 × 700 mm (320 kg), nepieciešams tikai 1,5 m × 1,5 m (der mazām laboratorijām).
Bonuss: pēc izvēles pelēktoņu, atbalsta GDS/DWG/DXF formātus.
2. Augstas-precīzas rūpnieciskās darbības: MLM 200
Ja ir svarīgas īpaši-sīkas detaļas (uzlaboti sensori, augsta-blīvuma mikroshēmas) un konsistence, UV Litho-ACA Pro+ nodrošina.
Precizitāte: 0,4 μm CD, 0,8 μm līnijas/atstarpes, 350 nm pārklājuma precizitāte (asas daudzslāņu struktūras).
Ātrums: līdz 100 mm²/min (četri objektīvi-noturīgi maziem-līdz-vidējiem ražojumiem).
Priekšrocība: atbalsta pelēktoņu (līdz 4096 līmeņiem) 3D mikrostruktūrām (piemēram, mikro-optikai).
Platība: 2,2 m × 1,7 m (590 kg)-piemērota industriālajiem iestatījumiem.
3. Kritiskās pelēktoņu vajadzības: MLM 300
Ja jūsu projektam ir nepieciešamas pelēktoņu (bez izņēmuma-piem., pielāgotas mikro-lēcas, biomedicīnas implanti), UV Litho-ACA Master ir paredzēts tam.
Pelēktoņi: nav{0}}izvēles (bez kompromisiem attiecībā uz 3D kvalitāti).
Precizitāte: tāda pati kā Pro+ (0,4 μm CD, 350 nm pārklājuma precizitāte).
Ātrums: ātrāks nekā Pro+ (līdz 150 mm²/min)-labāks nedaudz lielākām partijām.
Telpa: tāds pats kā Pro+ (2,2 m × 1,7 m, 590 kg).
4. Masveida ražošana un lielie substrāti: MLM 400
Liela-apjoma darbiem (lieli displeji, saules baterijas) UV Litho-S piešķir prioritāti ātrumam un izmēram.
Ātrums: ātrākais mūsu klāstā{0}}līdz 2500 mm²/min (divi objektīvi, samazina ražošanas laiku).
Pamatnes: Rokturi līdz 200 mm × 200 mm (citi max 150 mm × 150 mm).
Precizitāte: 1,0 μm CD, 2,0 μm līnijas/atstarpes (vairāk nekā pietiekami rūpnieciskām vajadzībām).
Platība: 2,7 m × 2,3 m (1400 kg)-ideāli piemērota rūpnīcas grīdām.
5. Precizitāte + lieli substrāti: MLM 500
Ja jums ir nepieciešami lieli substrāti un labāka precizitāte (augstas-klases elastīgi sensori), UV Litho-S+ ir vispiemērotākais.
Precizitāte: 0,5 μm CD, 0,5 μm līnijas/atstarpes, 250 nm pārklājuma precizitāte (labākā mūsu klāstā).
Ātrums: līdz 1200 mm²/min (trīs objektīvi{1}}ātrāki nekā ACA sērija lieliem substrātiem).
Pamatnes: 200mm × 200mm max (svari bez modeļu pārslēgšanas).
Telpa: tāds pats kā UV Litho-S (2,7 m × 2,3 m, 1400 kg).
Ātrā krāpšanās lapa: saskaņojiet savu projektu
|
Projekta veids |
Labākais modelis |
Galvenais iemesls |
|
Laboratorijas pētījumi (nelielas partijas) |
MLM 100 |
Kompakts+ līdzsvarota precizitāte/ātrums |
|
Augstas{0}}precizitātes rūpnieciskās darbības |
MLM 200 |
0,4 μm CD+ atbalstīta pelēktoņu krāsa |
|
Kritisks pelēktoņu darbs |
MLM 300 |
Ne{0}}izvēles pelēktoņu+ augstākā precizitāte |
|
Masveida ražošana (lieli substrāti) |
MLM 400 |
2500 mm2/min+200mmx200 mm atbalsts |
|
Precīzs liels{0}}substrāta darbs |
MLM 500 |
0,5 μm kompaktdisks+200mmx200 mm |
Nobeiguma piezīmes
Visi mūsu bezmasku UV litogrāfijas modeļi ietver automatizētu lēcu pārslēgšanu (taupa laiku!) un ISO sertifikātus (ISO 9001/14001/45001 uzticamībai). Mēs piedāvājam arī pielāgotas īpaši-lielas ekspozīcijas zonas (līdz 4 m²)-tikai jautājiet.
“Pareizais” modelis nav visdārgākais,{0}}tas ir tas, kas atzīmē izvēles rūtiņas. Vai jums ir jautājumi par lietošanas gadījumu? Sazinieties ar mums tagad, lai izvēlētos piemērotāko Bezmasku UV litogrāfijas risinājumu.
