Trīs{0}}dimensiju optiskais profilometrs nodrošina mērījumu precizitāti no mikrometra līdz nanometram, izmantojot baltās gaismas traucējumus vai konfokālo tehnoloģiju, un analizē cieto materiālu virsmu trīsdimensiju morfoloģiju, raupjumu un kontūru. Šim instrumentam ir bezkontakta mērījumu raksturlielumi, kas ļauj izvairīties no izmērītās virsmas bojājumiem, un tas ir piemērots dažādiem materiāliem, piemēram, caurspīdīgam/metālam/augstam atstarojumam. Mehāniskās ražošanas, pusvadītāju, kosmosa uc jomās 3D optiskie profilometri tiek plaši izmantoti kvalitātes kontrolē, procesu uzraudzībā un produktu izstrādē.
Līdz 2025. gadam tādiem galvenajiem modeļiem kā ZeGage Pro un SuperViewW1 būs gan seismiskā veiktspēja, gan automatizētas mērījumu iespējas, un mērījumu precizitāte pārsniegs 0,1 nm līmeni. Instrumenta funkcijas ietver mikromorfoloģijas analīzi, izliekuma aprēķinu un plānās kārtiņas raksturlielumu noteikšanu, kas atbilst ISO 25178 standartam un ir kļuvuši par mūsdienu precīzās ražošanas galveno noteikšanas aprīkojumu.
