Tehniskais princips
3D optiskais profilometrs galvenokārt izmanto divas optiskās tehnoloģijas:
1. Baltās gaismas traucējumu tehnoloģija: Analizējot traucējumu šķautņu fāzes izmaiņas un aprēķinot virsmas augstuma starpību, tai ir zem nanometru gareniskā izšķirtspēja.
2. Konfokālā tehnoloģija: izmantojot objektīva konjugētā fokusa principu, fokusēšanas precizitāte sasniedz 2nm, piemērota augstu slīpumu virsmu mērīšanai.
Lietojumprogrammas lauks
1. Precīzijas ražošana: pusvadītāju mikroshēmu atteices analīze, MEMS ierīču raksturojums.
2. Materiālu izpēte: Metālu/plastmasu korozijas noteikšana, optiskās plēves atstarošanas mērīšana.
3. Rūpnieciskā testēšana: automobiļu detaļu nodiluma analīze, kosmosa komponentu plakanuma novērtējums.
