Oksidācijas un difūzijas RTP iekārta ir galvenais pusvadītāju termiskās apstrādes rīks,{0}}kas apvieno oksidēšanu, difūziju un atkausēšanu vienā izturīgā vienībā. Tas nevainojami darbojas ar silīciju, silīcija karbīdu un citiem būtiskiem materiāliem, apstrādājot līdz pat 8 collu vafeles, un ir ieguvis reputāciju ar uzticamu veiktspēju un precīzu kontroli, kas atbilst pusvadītāju apstrādes ikdienas prasībām.
Galvenās lietojumprogrammas
1. Silīcija{1}}ierīču masveida ražošana: tas ir IC, IGBT un līdzīgu komponentu darba zirgs. Jūs to izmantosit izolācijas plēvju audzēšanai ar oksidēšanu, dopinga līmeņu noteikšanai ar difūziju un defektu izlīdzināšanai, izmantojot atlaidināšanu-, vienlaikus saglabājot lielo-jaudu, kas nepieciešama plaša patēriņa elektronikā un rūpnieciskajā kontrolē.
2. Plaša-joslas diapazona materiālu apstrāde: šis rīks patiešām darbojas ar moderniem materiāliem, piemēram, SiC un GaN. Tas ļauj pielāgot dopinga koncentrāciju tieši un izlīdzināt materiālu saskarnes, kas ir galvenais, lai izveidotu augstas veiktspējas daļas-domājiet jaudas moduļus jauniem enerģijas transportlīdzekļiem, kuriem ir jāiztur smagi apstākļi.
3. Pusvadītāju pētniecība un izstrāde: universitātes un laboratorijas zvēr pie tā elastības dēļ. Tā ir vairāku procesu platforma, kas ļauj pētniekiem bez grūtībām pārslēgties starp oksidēšanu, difūziju un citām darbībām,{3}} lieliski piemērota jaunu materiālu, piemēram, gallija oksīda, testēšanai vai eksperimentu veikšanai, lai noskaidrotu, kā dažādi parametri izkustas.
Ideāli lietotāji
1. Liela mēroga-ražošanas uzņēmumi: ja izpērkat pusvadītājus plaša patēriņa elektronikai vai jauniem enerģijas transportlīdzekļiem, šim aprīkojumam ir jābūt-. Tā viss-vienā-dizains samazina papildu izmaksas un uztur darbplūsmas kustībā, savukārt tā vienmērīgā veiktspēja nodrošina nepārtrauktu ražošanu un konsekventu ražu-nav neparedzētas dīkstāves, kas palēninātu darbību.
2. Pētniecības iestādes un universitātes: komandām, kas meklē jaunus pusvadītāju materiālus, šis rīks ir piemērots. Tas viegli apstrādā mazus-pakešu eksperimentus, darbojas ar plašu materiālu klāstu un ļauj pēc vajadzības pielāgot procesa parametrus,-palīdzot paātrināt inovācijas tempu, neapdraudot rezultātus.
3. Vidēji un mazi ierīču ražotāji: ja jums ir nepieciešams žonglēt pēc pasūtījuma ar sērijveida ražošanu, šis aprīkojums ir gudrs. Tas darbojas ar vairākiem materiāliem, tāpēc jums nav jāiegādājas atsevišķi rīki dažādiem procesiem, un tā 1-4 procesa caurule ļauj palielināt vai samazināt jaudu. Šī veiklība ir liels pluss, ja jūs mēģināt saglabāt konkurētspēju strauji mainīgā tirgū.
