Ja nodarbojaties ar pusvadītāju vai augstas{0}precizitātes elektronikas ražošanu, jūs zināt, cik svarīgi ir nodrošināt aprīkojumu, kas līdzsvaro veiktspēju, elastību un uzticamību. Šī daļēji{2}}automātiskā RTP (ātrā termiskā apstrāde) ierīce atzīmē visas šīs izvēles rūtiņas-, un tā ir pielāgota konkrētām ražošanas vajadzībām, ar kurām ikdienā saskaras daudzi uzņēmumi un laboratorijas. Noskaidrosim, kur tas spīd un kurš gūs visvairāk labumu.
Pamatscenāriji, kuros tas ir lieliski
Pirmkārt, šis aprīkojums ir paredzēts 8-12 collu vafelēm-, kas aptver visizplatītākos izmērus vidēja mēroga ražošanā. Tas, kas to patiešām atšķir, ir spēja apstrādāt procesus, kuriem nepieciešama tīrība un precizitāte, piemēram, ITO optimizācija un silicīda sakausējuma atkausēšana. Ja jūsu darbs ir saistīts ar atkvēlināšanu, kas ir jutīga pret piemaisījumiem, jūs novērtēsiet skābekļa saturu, kas ir mazāks par 1 ppm, kopā ar 6 kanālu MFC, lai zvanītu precīzi reakcijas atmosfērā.
Tas ir arī daudzpusīgs, ja runa ir par spiedienu: pārslēdzieties starp atmosfēras apstrādi un vakuuma apstrādi (līdz 30 mTorr) bez grūtībām-lieliski piemērots projektiem, kuriem nepieciešami dažādi vides apstākļi. Un vidēja-apjoma, vairāku-pakešu ražošanai? Tas nodrošina jauku līdzsvaru: jūs joprojām ielādējat/izkraujat vafeles manuāli (kas ir parocīgi maziem piegājieniem vai ātrai maiņai), bet kameras durvis atveras/aizveras automātiski, tiklīdz process sākas. Tas samazina cilvēku kļūdu iespējamību un saglabā augstu konsekvenci,{6}}bez nekonsekventas manuālas darbības vairs neradīs nepatīkamus rezultātus.
Kam šis aprīkojums ir paredzēts
1. Mazu-līdz-vidēju pusvadītāju ražotāji: Ja veicat vidēja-apjoma ražošanu un jums ir nepieciešama elastība bez pilnīgas automatizācijas cenas, šis ir paredzēts jums. Tas pielāgojas dažādiem vafeļu izmēriem un procesa iestatījumiem (pateicoties elastīgajām lampu un SCR konfigurācijām) un nodrošina vienkāršu apkopi.
2. Elektronisko komponentu/sensoru veidotāji: Augsta-tīrības pakāpe, precīza temperatūras kontrole (±1 grādu atkārtojamība!) nav apspriežama par uzticamiem komponentiem-šī ierīce nodrošina to, kā arī trīskāršas drošības funkcijas, kas nodrošina vienmērīgu darbību.
3. Pētniecības laboratorijas un universitātes: testējot jaunus materiālus vai optimizējot procesus (mazas partijas, daudz parametru), plašais temperatūras diapazons (telpas temperatūra līdz 1250 grādiem) un regulējamie sildīšanas ātrumi ir piemēroti. Tas ir pietiekami precīzs, lai iegūtu derīgus datus, bet pietiekami elastīgs, lai pielāgotu iestatījumus lidojuma laikā.
4. Pielāgotu pusvadītāju pakalpojumu sniedzēji: Tā kā klienti pieprasa dažādas specifikācijas, jums ir nepieciešams aprīkojums, kas var ātri pārslēgt pārnesumus. Šis RTP risina dažādas procesu vajadzības-no atmosfēras līdz vakuumam, dažādiem nesējiem (SiC, grafīta-pārklāts SiC)-nepaliekot garām.
5. Uzņēmumi, kas modernizē veco/manuālo aprīkojumu: Ja esat noguris no nekonsekventiem manuālā aprīkojuma rezultātiem, bet nevēlaties ieguldīt pilnā automatizācijā, šis ir gudrs vidusceļš. Tas ir efektīvs, atbilst SEMI S2 standartiem un nesagraus banku.
Bonuss? Izplatītās problēmas (piemēram, kameras durvju kļūmes vai skābekļa smaile) ir vienkārši novērstas-nav katru reizi jāgaida speciālists. Un ar šo SEMI S2 sertifikātu jums nav jāuztraucas par atbilstību nozares drošības un vides standartiem. Kopumā tas ir bezrūpīgs, augstas veiktspējas risinājums ikvienam, kam nepieciešama precīza termiskā apstrāde bez pilnībā automatizētu sistēmu sarežģītības.
