Pārklājot substrāta, piemēram, silīcija plāksnītes, virsmu ar ļoti gaismjutīgu fotorezistu un pēc tam apstarojot substrāta virsmu ar specifisku gaismu (parasti ultravioleto gaismu, dziļo ultravioleto gaismu, galēju ultravioleto gaismu) caur masku, kurā ir informācija par mērķa rakstu, gaismas apstarotais fotorezists reaģēs. Tāpēc apstarotā platība pēc izstrādes radīs atšķirīgus efektus no neapstarotās zonas (atkarībā no fotorezista īpašībām).
