Produktu pārskats
Automātiskā RTP iekārta, kas ir saderīga ar 8-12 collu vafelēm, ar vienu/divu{7}}dobumu dizainu un īpaši izstrādāta masveida ražošanai. Integrējot robotus un citus komponentus, tiek panākta pilnībā automatizēta vafeļu ielāde, atkausēšana un dzesēšana. Tas var saskarties ar ražošanas vadības sistēmām un atbalsta dažādus procesus vienai vafeļu muciņai. Ar precīzu temperatūras kontroli un stabilu darbību (vafeļu pārrāvuma līmenis ir mazāks par vai vienāds ar 1/10000), tas ietver vairākus drošības aizsardzības līdzekļus un ir piemērots augstas precizitātes rūdīšanas procesiem pusvadītāju un citās jomās.
Funkcijas
Mums ir aprīkojuma iespējas, kas aptver dažādu platumu un kameru skaitu, nodrošinot konsekventu veiktspēju visos galvenajos parametros.
Tas darbojas gan ar atvērtās kasetes, gan SMIF iestatījumiem, automātiski apstrādājot visu procesu{0}}no kartēšanas un līdzināšanas līdz vafeļu pārsūtīšanai, atkvēlināšanai un dzesēšanai.
Programmatūra ļauj izvēlēties iepriekš iestatītas receptes, kas pielāgotas atsevišķām vafelēm vienā kasetē, vienlaikus nodrošinot jums jaunāko informāciju par reāllaika{0}}apstrādes statusu.
Šī pilnībā automatizētā sistēma nemanāmi integrējas ar jūsu esošo EAP/MES infrastruktūru, lai nodrošinātu vienmērīgāku darbplūsmas koordināciju.
Instalēšanas un atkļūdošanas laikā mūsu pēc-pārdošanas inženieri atradīsies-vietnē, lai sniegtu praktisku-atbalstu un risinātu visas radušās problēmas.
Priekšrocības
- Izmantojot dubultās infrasarkanās halogēna spuldzes apkurei, apvienojumā ar ātru slāpekļa dzesēšanu, sistēma lepojas ar efektīvu un stabilu siltuma cirkulāciju.
- Īpaša lampu grupēšanas konstrukcija nodrošina vienmērīgāku temperatūru visā apstrādes zonā.
- Iebūvētais-PID kontroles algoritms ļauj reāllaikā-regulēt lampas jaudu, saglabājot precīzu temperatūras kontroli visa procesa laikā.
- Trīs{0}}līmeņu lietotāju piekļuves pārvaldība nodrošina ērtu un drošu informācijas kontroli. Galvenā programmatūras saskarne reāllaikā parāda galvenos parametrus, piemēram, gāzes plūsmas ātrumu, temperatūru un vakuuma līmeni, nodrošinot skaidru pārskatu par statusu.
- Sistēma automātiski saglabā visus ar procesu{0}}saistītos datus, lai turpmāk būtu vieglāk izsekojamies.
- Tam ir visaptverošs anomāliju aizsardzības mehānisms, kas nekavējoties iedarbina aizsardzību, ja tiek konstatēta kļūme, tostarp pārkaršana (ūdens -dzesēta alumīnija sakausējuma kamera, kas ir lielāka vai vienāda ar 70 grādiem), neparasti termopāra rādījumi, nenormāla sildīšanas jauda, neaizslēgtas krāsns durvis, pārmērīgs gāzes spiediens, nepietiekama ūdens plūsma un ūdens noplūde.
- Avārijas apturēšanas funkciju var iedarbināt ar vienu pogu, nekavējoties pārtraucot visus procesus un izslēdzot siltuma avotu.
Parametri
|
Modelis |
RTP-200 |
RTP-300 |
|
Vafeļu izmērs |
8 collas un mazāk 12 collas un mazāk |
8 collas un mazāk 12 collas un mazāk |
|
Kameras numurs |
1 |
2 |
|
Ievietojiet kasetes numuru |
2 |
2 vai 3 |
|
Ievietojiet kaseti Metode |
SMIF vai Open Cssette |
|
|
Izmērs |
1600 mm × 2450 mm × 2200 mm (W×D×H) |
2100 mm × 2450 mm × 2200 mm (W×D×H) |
|
Temperatūras diapazons |
RT ~ ~ 800 grādi (kontrolē ar termokopu) 500 grādi ~ 1250 grādi (kontrolē ar pirometru) |
RT ~ ~ 800 grādi (kontrolē ar termokopu) 500 grādi ~ 1250 grādi (kontrolē ar pirometru) |
|
Maksimālais apkures ātrums |
150 grādi /s---Tikai vafele 20 grādu /s---SiC nesējs 30 grādi /s---Grafīta nesējpārklājums SiC |
150 grādi /s---Tikai vafele 20 grādu /s---SiC nesējs 30 grādi /s---Grafīta nesējpārklājums SiC |
|
Temperatūras viendabīgums |
Mazāks vai vienāds ar ±3 grādiem @ Mazāks vai vienāds ar 600 grādiem Mazāks vai vienāds ar ±0,5% @ ＞600 grādiem |
Mazāks vai vienāds ar ±3 grādiem @ Mazāks vai vienāds ar 600 grādiem Mazāks vai vienāds ar ±0,5% @ ＞600 grādiem |
|
Temperatūras atkārtojamība |
±1 grāds |
±1 grāds |
|
Lampu/SCR skaits |
33 ea / 10 komplekts |
45 ea / 16 komplekts 55 ea / 24 komplekts |
|
Maksimālais MFC |
6 |
6 |
|
Zemākais spiediens |
30 mTorr |
30 mTorr |
|
Noplūdes ātrums |
10 mTorr/min |
10 mTorr/min |
|
O2Procenti |
＜1 ppm |
＜1 ppm |
|
Automātiski |
OCR+robots (divu roku)+pirksti (vakuums/Bernulli)+līdzinātājs+dzesēšanas stacija |
|
|
WPH (prognoze) |
5 |
|
|
Darbības laiks |
＞92% |
|
|
Vidējais tīrīšanas laiks (MTTC) |
Mazāks vai vienāds ar 6 stundām |
|
|
Vidējais remonta laiks (MTTR) |
Mazāks vai vienāds ar 4 stundām |
|
|
Vidējais laiks starp neveiksmēm (MTBF) |
Lielāks vai vienāds ar 200 stundām |
|
|
Vidējās vafeles starp pārrāvumiem (MWBB) |
Mazāks vai vienāds ar 1 no 10 000 vafelēm |
|
|
Maksimālā/ vidējā jauda |
90/60 Kw (ATS-8) 100/80 kw (ATS-12) |
180/120 kw (DTS-8) 200/160 kw (DTS-12) |
|
Spriegums |
380V/ 60HZ/ 3 fāzes 5 vadi |
380V/ 60HZ/ 3 fāzes 5 vadi |
|
Kontroles metode |
PC vadība |
PC vadība |
FAQ
Vai automātiskais RTP aprīkojums ir saderīgs ar 8/12 collu vafelēm? Vai, lai palielinātu ražošanas apjomu līdz 12 collām, ir jāmaina aprīkojums?
Pilnībā saderīgs. Lai palielinātu mērogošanu, ir jāpielāgo tikai programmatūras parametri; nav nepieciešama aprīkojuma nomaiņa, samazinot izmaksas.
Vai to var integrēt ar esošajām EAP/MES sistēmām? Vai tas ietekmēs ražošanas līniju?
Iespējama nemanāma integrācija. Inženieri nodrošinās-atkļūdošanu vietnē, uzlabojot ražošanas līnijas efektivitāti un konsekvenci.
Vai vienai un tai pašai vafeļu muciņai var iestatīt dažādus procesus? Vai operācija ir sarežģīta?
Atbalsta "vairākus procesus vienā mucā". Programmatūras saskarne ļauj viegli izvēlēties un iestatīt iestatījumus, neprasot papildu apmācību.
Vai ir drošības aizsardzība ārkārtas situācijās? Vai tas sabojās vafeles vai ievainos personālu?
Tam ir avārijas apturēšana un automātiska riska noteikšanas aizsardzība, lai aizsargātu gan plāksnes, gan personālu.
Sertifikācija
◆ Atbilstības sertifikācija SEMI S2
Populāri tagi: automātiskās rtp iekārtas, Ķīnas automātisko rtp iekārtu ražotāji, piegādātāji
